由此看来,米🞽🙧🌭国佬的这台激光光源系统没有质🖡量问题,性能非常稳定。

    看到这一幕,梁宋松🖖💦🔂也有点傻眼了,“两套系统单体测试都很正常,组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况?”

    “这…这事有点邪门啊!”万宁古此⛻时也有点懵,两手一🇳摊,看着许振鸣苦笑,并且直摇头。

    今天中午饭的时候,他得到梁宋松的提醒,灵感咋现,其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想,米国产的激光光路系统肯定没问题,国产的光刻机主🁯🉒🆱体系统肯定有问题。

    但现在一番检测下来,这两台设备的情况都很正常🃄🕓🉎,问题到底在哪里?

    “两台设备单体都正常,组装在一起就不正常。在组装的时候,我们🇁🕢做过哪些改动程序?”

    这时,许振鸣慢慢的蹲下身子,目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确,就🈪是这个接驳机构出了问题。

    “想想也是💧,我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来,😃说出自己的猜想。

    “不可能!我们这台光刻机的接驳🎤📇😲机构是用集团公司最先进的加工中心制造的,加工精度能保证。”万宁古一边🌏♰🌇说话,一边也🆴📲🞰跟着半蹲了下来。

    这时候,梁宋松有点懵懵的。出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集团🂝公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度💊🐎⚓怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”

    “咱们不能随便乱说,要用实🎊验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受一下接驳机构的加工面。

    这组接驳机构的加工面非常光滑,曲线度、光滑度通过目测应该找不🇁🕢出故障。

    所以,许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万🗼♒🇲宁古:“老万🜮,咱们🈍☩可不可以用分开的模式来做光刻试验?”

    万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。否则,光刻流片的精度无法保障。”💍🐨🂕

    按照他🝤的意思,土办法是解决不了目前的测试🖡困境,这事🇳有点难办了。