倘若没有发生变化，那就有点麻烦喽！
作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以🟢🞲后⚈🏗，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负🕈责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问🝌题，逻辑上怎么也解释不清楚。
带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视📴🟆🚶器屏🖍👔幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之🜅⛛内。
“报告许董，主机系统😮🄳重复精度小于0.001毫米，数据正常。”
“报告万总🃫，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”💯🕚
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现⚈🏗波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量🐡🁚🆔级要求范围之内，没有出现异常情况🔓⛷🟅。”🟢🞲
“……”
技术员们非常专注，每出🕣🙴现一个数据就会把情况如实汇报。♲🌑
通过他们一番比对下来，这台光刻🐡🁚🆔机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激🇽光光源的能量测试流程，一切也正⚢常。
不但⛤如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散🟢🞲光度误差很小，在正常范围之内。