倘若没有发生变化，那就有点麻烦喽！
作为一鸣集团公司的重点🏆项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试🕍🈚完🐉♨成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上🃴午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么也🈡⛣解释不清楚。
带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站🐉♨的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行😦程序以后，监视器显示的各项数据🐦🂇🌪都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机系统重复精度小于0.001毫米，数据正常。”
“报告万总，主机系统的震🗣🝚动量误差都在量级以内，😎⛴🞣不会对光刻程序造成影🔰🄔响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备🞈的电磁杂波强🏆度都在量级要求范围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员⛢🜁们非常专注，每出现一🖛📔个数据🅑🅶就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光🏏刻机主体系统的数据和原🂣始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经完成了激🎭🔔光光源😦的能🔽🆆量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完👙成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度🐦🂇🌪误差很小，在正常范围之内。