这种离子束光源主要是通过利用高功率的二氧🐶🄖化碳激光器以高🁸频脉冲的方式轰击光源内的锡液滴靶丸产生极紫外光源辐射，反射光学系统直接将光射向需要刻蚀的硅晶圆。
这家公司在上世纪八🛏🛖🜛十年代起就⚑🐨开始玩气体激光光源技术用在芯片生产上面，在这方面玩得非常溜。
不过华兴科技集团公司从一🄼开始就开始玩半导体激光，一开始从激光读写头开始玩起，后来开始玩半导体激光光源波长最短的氮化镓激光🌚⛑🙮光源，并且利用🍥🏛国内在非线性光学晶体材料上的绝对技术优势玩激光倍频技术。
其实国内在💡📜🛨玩激光倍频技术上是世界领先的，很早就实现了激光六倍频技术，华兴科技集团公司利用🁨这种激光倍频技术在实验室里面很早就研制出了波长只有6纳米的极紫外光光源。
只不过这种极紫外光光源破坏力实在是很大，瑞星科技公司公司也不可⛓🚀能直接使用这种光源，只能是等到三阳光学公司研制出可以长时间经受住极紫外光光源照射破坏的镀🔃♢膜材料。
这种镀膜材料要用到零膨胀材料，并🄞⚗👥且还不能吸收紫外光☖光源能量，其难度之大简直众多的科学家和工程师头皮发麻🏸🞷。
不过杨杰在这方面那是真的舍得砸钱的，而且三阳光学公司这些年也是一直在为瑞星科技公司公🆌🎇🎿司提供光刻机的镜头组，同时也为不少的大科学装置提供各种高精尖的光学设备，技术研发上就从来没有停过，所以现在已经能提供能够长时间经受住波长在25纳米极紫外光光源照射的反射镜镜头装置了。
所以现在瑞星科技公司公司选用的是四倍频激光技👮🌍♞术的氮化镓半导体固态🜘激光光光源。
如果在技术层面上🏠🛢来说的话瑞星科技公司公司在极紫外光刻机水平跟阿斯麦差不多是处于同🔖一水平的。
不过杨杰是想率先抢在阿斯麦之前将极紫外光刻机实现👚量产，所以在跟胡焕志谈到华兴科技集团公司还要加码技术研发上首先就提到了极紫外光刻机研发进度的事情。